〈台積社會責任〉建在地綠色供應鏈 光洋科成首家高階半導體製程靶材台廠

晶圓代工龍頭台積電 (2330-TW) 打造在地綠色供應鏈，與光洋科 (1785-TW) 合作，回收製程廢棄資源，再製成靶材，今年已成功導入先進製程量產產線，光洋科也成為首家供應高階半導體前段製程靶材的台廠。

台積電與光洋科合作透過回收製程廢棄資源、精煉為原物料，成功再製成符合品質標準的靶材，並正式導入量產產線，台積電每年也成功減少 1800 噸廢液，達成 120 顆殘靶材再生，實現廢棄物管理目標。

台積電表示，針對以往仰賴單一進口來源的靶材，除力行風險管理、確保營運持續不中斷，同時也由資材暨風險管理組織、晶圓十五 A 廠與品質暨可靠性組織組成專家團隊，與光洋科在晶圓 15A 廠進行合作，於研發測試產線進行靶材樣品測試，協助其提升靶材品質，推動硫酸銅廢液與殘靶材 2 項製程廢棄資源活化專案，開發利用再生資源為靶材原料的再製技術。

台積電指出，與光洋科共同回收製程廢棄資源，再製成靶材的技術，已於 2018 年導入成熟製程，今年則導入先進製程；除積極深化供應商綠色製造能力，盼能帶動國內半導體產業循環經濟發展，也積極活化製程所產出的廢棄資源，轉製成可直接提供晶圓製造或販售給其他工業使用的產品，去年台積電廢棄物回收率便達 96%。