전남대 컨소시엄, 日 수출규제 핵심소재 '포토레지스트' 개발 추진

국내 연구진이 일본 3대 수출 규제품 가운데 하나인 포토레지스트(감광액) 개발에 나섰다.

전남대(총장 정병석)는 정현담 화학과 교수 등의 컨소시엄이 제안한 '무기 나노입자 기반 하이브리드형 극자외선(EUV) 포토레지스트 개발'이 산업통상자원부 소재부품기술개발사업으로 선정돼 오는 2023까지 총 55억여원의 사업비를 지원받게 됐다고 25일 밝혔다.

정 교수의 컨소시엄에는 포항가속기연구소, 한국화학연구원, 포켐래버래토리, DCT머티리얼, JSI실리콘 등 6개 기관·기업이 참여했다.

EUV 포토레지스트는 차세대 반도체 공정 핵심 소재로, 일본 기업이 세계 시장을 독점하고 있다. 지난해 일본 정부가 수출 규제의 무기로 내세웠던 3대 품목 가운데 하나로, 산업부는 소재·부품·장치 등 이른바 소부장에서 일본 영향력을 벗어나기 위해 이번 과제를 공모했다.

전남대는 정교수팀이 보유하고 있는 무기 나노입자 박막 소재 기술을 기반으로 금속 산화물 클러스터 박막과 전자 구동 화학기술을 활용해 참여 기업의 EUV 무기 포토레지스트 개발을 지원할 예정이다.

기존 유기 소재가 아닌 무기 포토레지스트 개발에 나서는 것은 국내에선 처음이다. 유기 포토레지스트가 지닌 선폭 불균일성, 낮은 에칭저항성의 문제를 원천 해결할 수 있을 것으로 기대하고 있다. 특히 반도체 핵심 소재의 일본 의존에서 벗어나 국내 반도체 산업의 경쟁력 확보가 가능할 것으로 예상된다.

정현담 교수는 “일본의 EUV 포토레지스트 규제는 우리나라의 고성능·고집적 반도체 기술의 안정적 발전을 저해했다”면서 “4차 산업혁명 시대의 핵심 경쟁력을 확보하기 위해 소재기술 개발을 나섰다”고 말했다.

광주=김한식기자 hskim@etnews.com